금속현미경 광학계로 2000배 이상 확대해 반도체·초소형 부품을 측정합니다. 수동형과 대형 자동 스테이지 모델을 갖췄습니다.
5X·10X·20X·50X 금속현미경 대물렌즈(100X 옵션)로 초소형 반도체 부품의 미세 형상까지 측정합니다.
고배율에서 반사가 심한 미세 패턴도 선명하게 보여 주는 동축 조명을 갖췄습니다.
3축 모두 고정밀 화강암을 적용해 정밀도와 내구성이 뛰어나고, 0.1µm 광학 스케일로 위치를 읽습니다.
300×300·400×400mm 수동형과 500×600·600×800mm 자동 스테이지형 중에서 선택합니다.
HD-MS 시리즈는 일반 비전 측정기로는 배율이 부족한 초소형 부품을 위한 고배율 비접촉 측정기입니다. 금속현미경 광학계와 동축 조명을 결합해 2000배 이상의 고배율에서도 선명하고 대비가 높은 이미지로 측정합니다.
측정 순서를 화면에서 안내하는 내비게이션 기능이 있어 작업자에 따른 편차를 줄일 수 있고, 측정 결과는 Excel·Word 등 원하는 형식의 보고서로 바로 정리됩니다. 작은 시료는 수동형으로, 큰 기판이나 여러 시료를 연속 측정할 때는 대형 자동 스테이지형으로 대응합니다.
측정 범위 300×300×150mm, 정확도 E2 = 2.5+L/200µm, 반복 정밀도 2µm
측정 범위 400×400×150mm, 정확도 E2 = 2.5+L/200µm, 반복 정밀도 3µm
측정 범위 500×600×200mm / 600×800×200mm, 정확도 E2 = 3.0+L/200µm, CNC 자동 측정
| 측정 범위 | 수동 300×300×150 / 400×400×150mm, 자동 500×600×200 / 600×800×200mm |
|---|---|
| 대물렌즈 | 금속현미경 대물 5X·10X·20X·50X (100X 옵션) |
| 화면 배율 | 최대 2000배 이상 |
| 정확도(X·Y) | 수동 E2 = 2.5+L/200µm, 자동 E2 = 3.0+L/200µm |
| 스케일 분해능 | 0.1µm 광학 스케일 |
| 조명 | 동축 LED 조명, 하부(윤곽) LED 조명 256단계 |
| 카메라 | 산업용 디지털 컬러 카메라 |
| 구조 | 3축 0급 고정밀 화강암, 크로스 롤러 가이드(수동) / HIWIN P급 가이드(자동) |
| 소프트웨어 | 측정 순서 자동 안내, DXF 입출력, Excel·Word 보고서, 다국어(한국어 포함) |
| 옵션 | 제품 맞춤형 지그 제작 |
※ 사양은 제조사 사정에 따라 예고 없이 변경될 수 있습니다. 상세 사양은 브로셔를 참고하거나 문의해 주세요.
시료를 보내주시거나 방문하시면 직접 비교 시연해 드립니다.